MEMS传感器的主要构造 微机电系统（MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）是将微电子电路技术与微机械系统融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米尺度内。此外还有纳
什么是MEMS技术？MEMS 技术于 1980 年代发明，是一种利用硅基半导体制造工艺制造微型机械电子系统的技术，最早在汽车和军工领域有部分应用，主要产品包括 MEMS 传感器和 MEMS 执行
在智能化电子产品不断涌现，物联网智能终端与整机产品制造市场稳定发展的带动下，对传感器要求更小型化、智能化、低功耗、高集成度、可大批量产及低成本，MEMS传感器便能解决这一
MEMS的全称是微型电子机械系统（Micro-ElectroMechanicalSystem），微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电
MEMS 按产品线划分占主导低位的依然是惯性传感器和微流量传感器，占比都为24%左右，其次是压力传感器，占比为13%，光学传感器和喷墨头，占比都为10%左右。2016 全球MEMS 市场按产品
MEMS系统即微机电系统，是指可批量制作的，集微型传感器、执行器、机械结构、电源能源、信号处理、控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微米或纳米级器件或系统
